2024-03-29T10:27:22Z
https://soar-ir.repo.nii.ac.jp/oai
oai:soar-ir.repo.nii.ac.jp:00012808
2023-03-16T04:19:45Z
1221:1223:1224:1242
第3磁極を有するマグネトロンスパッタ装置の動作と薄膜組成制御への応用
Operation of a DC-Magnetron Sputtering System with a Third Magnetic Pole and Its Application to Control of Chemical Composition of Thin Films
深海, 龍夫
峯丸, 貴行
Article
信州大学工学部紀要 65: 45-51 (1989)
departmental bulletin paper
信州大学工学部
1989-02-28
application/pdf
信州大学工学部紀要
65
45
51
0037-3818
AN00121228
https://soar-ir.repo.nii.ac.jp/record/12808/files/Engineering65-05.pdf
jpn