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アイテム / リアクティブスパッタ法によるTaN_x薄膜抵抗体の作製と電極との接触抵抗の評価(電子材料) / 110003172071
110003172071
ファイル | ライセンス |
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110003172071.pdf (889.3 kB) sha256 9580f07b95bc9fc8c41f2d68d9ae31e6df2e8ccfeee0ab8f54cfae00d6ce7ec0 |
公開日 | 2009-03-06 | |||||
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ファイル名 | 110003172071.pdf | |||||
本文URL | https://soar-ir.repo.nii.ac.jp/record/12594/files/110003172071.pdf | |||||
ラベル | 110003172071.pdf | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 889.3 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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