@article{oai:soar-ir.repo.nii.ac.jp:00012753,
 author = {武井,  重人 and 森迫,  昭光 and 松本,  光功},
 journal = {信州大学工学部紀要},
 month = {Sep},
 note = {Article, 信州大学工学部紀要 76: 13-20 (1995)},
 pages = {13--20},
 title = {対向ターゲット式スパッタリング法の放電特性と堆積薄膜特性},
 volume = {76},
 year = {1995}
}