@article{oai:soar-ir.repo.nii.ac.jp:00012808,
 author = {深海,  龍夫 and 峯丸,  貴行},
 journal = {信州大学工学部紀要},
 month = {Feb},
 note = {Article, 信州大学工学部紀要 65: 45-51 (1989)},
 pages = {45--51},
 title = {第3磁極を有するマグネトロンスパッタ装置の動作と薄膜組成制御への応用},
 volume = {65},
 year = {1989}
}