@techreport{oai:soar-ir.repo.nii.ac.jp:00018330, author = {深田, 茂生}, month = {}, note = {研究種目:基盤研究(C), 研究期間:2011~2013, 課題番号:23560159, 研究代表者:深田 茂生, 研究者番号:70156743, Other, 2011~2013年度科学研究費助成事業(基盤研究(C))研究成果報告書 課題番号:23560159 研究代表者:深田 茂生}, title = {同軸二重型差動ボールねじを応用したミリストローク超高分解能直動アクチュエータ}, year = {2014} }