@techreport{oai:soar-ir.repo.nii.ac.jp:00018345,
 author = {細野, 高史},
 month = {},
 note = {研究種目：若手研究（Ｂ）, 研究期間：2012～2013, 課題番号：24760100, 研究代表者：細野　高史, 研究者番号：70432169, Other, 2012～2013年度科学研究費助成事業（若手研究（Ｂ））研究成果報告書　課題番号：24760100　研究代表者：細野　高史},
 title = {Ｓｉ・サファイア・ＳｉＣのレーザ切断と同時に加工変質層を腐食除去する方法の開発},
 year = {2014}
}