@techreport{oai:soar-ir.repo.nii.ac.jp:00021151, author = {深田, 茂生}, month = {}, note = {研究種目:基盤研究(C), 研究期間:2015~2017, 課題番号:15K05759, 研究代表者:深田 茂生, 研究者番号:70156743, Other, 2015~2017年度科学研究費助成事業(基盤研究(C))研究成果報告書 課題番号:15K05759 研究代表者:深田 茂生}, title = {加工負荷外乱下におけるボールねじ機構の微視的特性と超精密位置決め性能}, year = {2018} }