@phdthesis{oai:soar-ir.repo.nii.ac.jp:00021440,
 author = {水嵜, 英明},
 month = {Mar},
 note = {この博士論文は、次の学術雑誌論文を一部に使用しています。 / 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）. 136(8): 337-342 (2016); doi:10.1541/ieejsmas.136.337. © 2016 電気学会. / 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）. 138(11): 495-502 (2018); doi:10.1541/ieejsmas.138.495. © 2018 電気学会. / Conference Proceedings of ISEP 2019. 349-354 (2019); doi:10.23919/ICEP.2019.8733519. © 2019, IEEE.（In reference to IEEE copyrighted material which is used with permission in this thesis, the IEEE does not endorse any of Shinshu University's products or services. Internal or personal use of this material is permitted. If interested in reprinting/republishing IEEE copyrighted material for advertising or promotional purposes or for creating new collective works for resale or redistribution, please go to http://www.ieee.org/publications_standards/publications/rights/rights_link.html to learn how to obtain a License from RightsLink.）, Thesis, 水嵜　英明. 焦電効果を利用したPZT赤外線センサの作製プロセスに関する研究. 信州大学, 2020, 博士論文. 博士（工学）, 甲第728号, 令和02年03月20日授与.},
 school = {信州大学(Shinshu university)},
 title = {焦電効果を利用したPZT赤外線センサの作製プロセスに関する研究},
 year = {2020}
}