WEKO3
アイテム / Plasma Nitridation of 4H-SiC by Glow Discharge of N2/H2 Mixed Gases / Plasma_Nitridation_of_4H-SiC
Plasma_Nitridation_of_4H-SiC
ファイル | ライセンス |
---|---|
Plasma_Nitridation_of_4H-SiC.pdf (316.2 kB) sha256 84eac97ab8749fca44ca5f75cdf9bc3527523b5fa9e0620ed1dd0b1627bab726 |
公開日 | 2016-10-14 | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
ファイル名 | Plasma_Nitridation_of_4H-SiC.pdf | |||||
本文URL | https://soar-ir.repo.nii.ac.jp/record/18466/files/Plasma_Nitridation_of_4H-SiC.pdf | |||||
ラベル | Plasma_Nitridation_of_4H-SiC.pdf | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 316.2 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
---|