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  1. 060 工学部
  2. 0601 学術論文

Plasma Nitridation of 4H-SiC by Glow Discharge of N2/H2 Mixed Gases

http://hdl.handle.net/10091/00019228
http://hdl.handle.net/10091/00019228
39b46291-512b-41ac-b6cd-d567883ca113
名前 / ファイル ライセンス アクション
Plasma_Nitridation_of_4H-SiC.pdf Plasma_Nitridation_of_4H-SiC.pdf (316.2 kB)
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2016-10-14
タイトル
タイトル Plasma Nitridation of 4H-SiC by Glow Discharge of N2/H2 Mixed Gases
言語
言語 eng
DOI
関連識別子 https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.821-823.504
関連名称 10.4028/www.scientific.net/MSF.821-823.504
キーワード
主題 Nitride, MIS, plasma, SiC
資源タイプ
資源 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
タイプ journal article
著者 Akahane, Yoshiyuki

× Akahane, Yoshiyuki

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Kamimura, Kiichi

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信州大学研究者総覧へのリンク
氏名 Kamimura, Kiichi
URL http://soar-rd.shinshu-u.ac.jp/profile/ja.yVkaZVkh.html
出版者
出版者 Trans Tech Publications
引用
内容記述 Materials Science Forum, Vols. 821-823, pp. 504-507 (2015)
書誌情報 Materials Science Forum

巻 821-823, p. 504-507, 発行日 2015-06
抄録
内容記述 The mixed gas of nitrogen and hydrogen was used for the plasma nitridation of SiC surface.A small amount of hydrogen was effective to activate the nitridation reaction and suppress the oxidationreaction. The interface properties were improved by using nitride layer as an interfacial bufferlayer of SiC MIS structure.
資源タイプ(コンテンツの種類)
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 1662-9752
権利
権利情報 © 2015 Trans Tech Publications, Switzerland
出版タイプ
出版タイプ AM
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa
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Ver.1 2021-03-01 09:09:44.218216
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Akahane, Yoshiyuki, Kimura, Kyosuke, Kano, Takuo, Watanabe, Yukimune, Yamakami, Tomohiko, Fujimaki, Shinji, Kamimura, Kiichi, 2015, Plasma Nitridation of 4H-SiC by Glow Discharge of N2/H2 Mixed Gases: Trans Tech Publications, 504–507 p.

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