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リアクティブスパッタ法によるTaN_x薄膜抵抗体の作製と電極との接触抵抗の評価(電子材料)
http://hdl.handle.net/10091/2716
http://hdl.handle.net/10091/2716b8305642-0e4e-49c6-a3d2-cff5480b465d
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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110003172071.pdf (889.3 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2009-03-06 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | リアクティブスパッタ法によるTaN_x薄膜抵抗体の作製と電極との接触抵抗の評価(電子材料) | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| タイプ | journal article | |||||||||||||
| 著者 |
小畑, 元樹
× 小畑, 元樹
× 作田, 輝行
× 林部, 林平
× 上村, 喜一
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| 信州大学研究者総覧へのリンク | ||||||||||||||
| 氏名 | 上村, 喜一 | |||||||||||||
| URL | http://soar-rd.shinshu-u.ac.jp/profile/ja.yVkaZVkh.html | |||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||
| 出版者 | 社団法人電子情報通信学会 | |||||||||||||
| 引用 | ||||||||||||||
| 内容記述 | 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス. 86(11): 1184-1190 (2003) | |||||||||||||
| 書誌情報 |
電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス 巻 86, 号 11, p. 1184-1190, 発行日 2003-11-01 |
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| 資源タイプ（コンテンツの種類） | ||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 1345-2827 | |||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||
| 収録物識別子 | AA11412446 | |||||||||||||
| 他の資源との関係：URI | ||||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||||
| 関連識別子 | http://search.ieice.org/ | |||||||||||||
| 関連名称 | http://search.ieice.org/ | |||||||||||||
| 権利 | ||||||||||||||
| 権利情報 | Copyright (c) 2003 社団法人電子情報通信学会 | |||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||
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Cite as
小畑, 元樹, 作田, 輝行, 林部, 林平, 上村, 喜一, 2003, リアクティブスパッタ法によるTaN_x薄膜抵抗体の作製と電極との接触抵抗の評価(電子材料): 社団法人電子情報通信学会, 1184–1190 p.
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