Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
公開日 |
2008-02-28 |
タイトル |
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タイトル |
Characterization of polycrystalline SiC films grown by HW-CVD using silicon tetrafluoride |
言語 |
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言語 |
eng |
DOI |
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関連識別子 |
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2007.06.199 |
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関連名称 |
10.1016/j.tsf.2007.06.199 |
資源タイプ |
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資源 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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タイプ |
journal article |
著者 |
Abe, K
Nagasaka, Y
Kida, T
Yamakami, T
Hayashibe, R
Kamimura, K
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信州大学研究者総覧へのリンク |
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氏名 |
Kamimura, K |
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URL |
http://soar-rd.shinshu-u.ac.jp/profile/ja.yVkaZVkh.html |
出版者 |
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出版者 |
ELSEVIER SCIENCE SA |
引用 |
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内容記述 |
THIN SOLID FILMS. 516(5): 637-640 (2008) |
書誌情報 |
Thin solid films
巻 516,
号 5,
p. 637-640,
発行日 2008-01-15
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資源タイプ(コンテンツの種類) |
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内容記述 |
Article |
ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0040-6090 |
書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA00863068 |
出版タイプ |
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出版タイプ |
AM |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa |
WoS |
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URL |
http://gateway.isiknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?&GWVersion=2&SrcAuth=ShinshuUniv&SrcApp=ShinshuUniv&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS&KeyUT=000252285900038 |