WEKO3
アイテム
対向ターゲット式スパッタリング法の放電特性と堆積薄膜特性
http://hdl.handle.net/10091/10968
http://hdl.handle.net/10091/10968c310bbe5-36df-410f-b061-65226139a95a
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||
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公開日 | 2011-01-05 | |||||||||||
タイトル | ||||||||||||
タイトル | 対向ターゲット式スパッタリング法の放電特性と堆積薄膜特性 | |||||||||||
タイトル | ||||||||||||
タイトル | Discharge Characteristics in Facing Targets Type of Sputtering Method and Properties of Deposited Thin Films | |||||||||||
言語 | ||||||||||||
言語 | jpn | |||||||||||
資源タイプ | ||||||||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||
タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||
著者 |
武井, 重人
× 武井, 重人
× 森迫, 昭光
× 松本, 光功
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信州大学研究者総覧へのリンク | ||||||||||||
氏名 | 森迫, 昭光 | |||||||||||
URL | http://soar-rd.shinshu-u.ac.jp/profile/ja.geSVZVkh.html | |||||||||||
出版者 | ||||||||||||
出版者 | 信州大学工学部 | |||||||||||
引用 | ||||||||||||
内容記述 | 信州大学工学部紀要 76: 13-20 (1995) | |||||||||||
書誌情報 |
信州大学工学部紀要 巻 76, p. 13-20, 発行日 1995-09-29 |
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資源タイプ(コンテンツの種類) | ||||||||||||
内容記述 | Article | |||||||||||
ISSN | ||||||||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||
収録物識別子 | 0037-3818 | |||||||||||
書誌レコードID | ||||||||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||
収録物識別子 | AN00121228 | |||||||||||
出版タイプ | ||||||||||||
出版タイプ | VoR | |||||||||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |