WEKO3
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アイテム
Preparation and Characterization of Deposited Tetraethylorthosilicate-SiO2/SiC MIS Structure
http://hdl.handle.net/10091/00019265
http://hdl.handle.net/10091/000192657bc8c3af-c031-4f14-b09e-5c654f8b6cc6
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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MSF740-742_pp805-808.pdf (742.3 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||||||
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| 公開日 | 2016-11-01 | |||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||
| タイトル | Preparation and Characterization of Deposited Tetraethylorthosilicate-SiO2/SiC MIS Structure | |||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||
| DOI | ||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.740-742.805 | |||||||||||||||
| 関連名称 | 10.4028/www.scientific.net/MSF.740-742.805 | |||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||
| タイプ | journal article | |||||||||||||||
| 著者 |
Hemmi, Mitsunori
× Hemmi, Mitsunori
× Sakai, Takashi
× Yamakami, Tomohiko
× Hayashibe, Rinpei
× Kamimura, Kiichi
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| 信州大学研究者総覧へのリンク | ||||||||||||||||
| 氏名 | Kamimura, Kiichi | |||||||||||||||
| URL | http://soar-rd.shinshu-u.ac.jp/profile/ja.yVkaZVkh.html | |||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||
| 出版者 | Trans Tech Publications | |||||||||||||||
| 引用 | ||||||||||||||||
| 内容記述 | Materials Science Forum, Vols. 740-742, pp. 805-808 (2013) | |||||||||||||||
| 書誌情報 |
Materials Science Forum 巻 740-742, p. 805-808, 発行日 2013-01 |
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| 抄録 | ||||||||||||||||
| 内容記述 | The SiO2 layer was deposited on the 4H-SiC Si face by the thermal decomposition of tetraethylorthosilicate(TEOS) in N2 atmosphere to from MIS diodes. The post deposition annealing was effective to improve the interface properties. The interface state density of the deposited SiO2/SiC MIS structure was estimated to be the order of 1011 cm-2eV-1 by Terman method. The direct nitridation of SiC surface prior to the deposition of the SiO2 layer was effective to reduce the interface state density. | |||||||||||||||
| 資源タイプ（コンテンツの種類） | ||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||
| 収録物識別子 | 1662-9752 | |||||||||||||||
| 権利 | ||||||||||||||||
| 権利情報 | © 2013 Trans Tech Publications, Switzerland | |||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||||||||||
