WEKO3
アイテム
第3磁極を有するマグネトロンスパッタ装置の動作と薄膜組成制御への応用
http://hdl.handle.net/10091/2141
http://hdl.handle.net/10091/214132fdee79-4756-4825-adda-e39d4877ba9b
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||
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公開日 | 2009-03-03 | |||||||||
タイトル | ||||||||||
タイトル | 第3磁極を有するマグネトロンスパッタ装置の動作と薄膜組成制御への応用 | |||||||||
タイトル | ||||||||||
タイトル | Operation of a DC-Magnetron Sputtering System with a Third Magnetic Pole and Its Application to Control of Chemical Composition of Thin Films | |||||||||
言語 | ||||||||||
言語 | jpn | |||||||||
資源タイプ | ||||||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||
タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||
著者 |
深海, 龍夫
× 深海, 龍夫
× 峯丸, 貴行
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出版者 | ||||||||||
出版者 | 信州大学工学部 | |||||||||
引用 | ||||||||||
内容記述 | 信州大学工学部紀要 65: 45-51 (1989) | |||||||||
書誌情報 |
信州大学工学部紀要 巻 65, p. 45-51, 発行日 1989-02-28 |
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資源タイプ(コンテンツの種類) | ||||||||||
内容記述 | Article | |||||||||
ISSN | ||||||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||
収録物識別子 | 0037-3818 | |||||||||
書誌レコードID | ||||||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||
収録物識別子 | AN00121228 | |||||||||
出版タイプ | ||||||||||
出版タイプ | VoR | |||||||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |